Основы анализа поверхности и тонких пленок
Фелдман Л., Майер Д.
Монография, написанная известными американскими специалистами в области атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов н рентгеновского излучения для анализа структуры н состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне. Для специалистов, интересующихся проблемами анализа поверхности и тонких пленок, аспирантов и студентов.
Kateqoriyalar:
İl:
1992
Nəşriyyat:
Мир
Dil:
russian
Səhifələr:
342
ISBN 10:
5030010173
ISBN 13:
9785030010175
Fayl:
DJVU, 3.38 MB
IPFS:
,
russian, 1992